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將污染氣體引入低溫催化氧化設備，污染氣體中的污染物顆粒先在預處理單元進行吸收沉降；經預處理后的污染氣體進入微波協同單元，污染氣體直接吸收紫外輻射能量發生斷鍵，水蒸氣吸收紫外輻射能量產生自由基氧化污染氣體；經微波協同單元進入活性氧發生單元，氧自由基的強氧化能力對污染氣體分子有一定氧化分解作用；經活性氧發生單元后進入常溫催化單元，此單元裝有自主研發污染氣體分解催化劑，在催化劑活性位點產生活性物種活性氧，污染氣體分子通過催化劑被吸附，在電磁場與氧自由基的協同催化下被徹底分解CO2和H2O；經多單元凈化處理后的干凈氣體由排風機引出。